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精馏,将工业无水氟化氢液体通入精馏釜,用氮气置换精馏釜中的空气,控制精馏釜内压力≤0.1Mpa,加入高锰酸钾,高锰酸钾的加量占工业无水氟化氢加量的0.6-1重量%,搅拌10分钟±5分钟,静止20分钟±5分钟,使工业无水氟化氢中含有的大量的二氧化硫和三氟化砷生成难以挥发的化合物;然后加入30重量%的过氧化氢,过氧化氢占工业无水氟化氢加量的0.5-5重量%,搅拌10分钟±5分钟,静止20分钟±5分钟;升温至60-80℃,氟化氢液体气化生成纯化的氟化氢气体。